03-18
優(yōu)勢經(jīng)濟利益:1.大批量的并行制造過程;2.系統(tǒng)級集成;3.封裝集成;4.與IC工藝兼容。技術(shù)利益:1.高精度;2.重量輕,尺寸小;3.高效能。
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微機電系統(tǒng)是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米級,自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速,被認為是繼微電子之后又一個對國民經(jīng)濟和軍事具有重大影響的技術(shù)領(lǐng)域,將成為21世紀新的國民經(jīng)…
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MEMS陀螺儀是一種用于測量和保持方向的儀器,在航空、航天、航海、地震學等領(lǐng)域有著廣泛的應用。MEMS陀螺儀的精度是衡量其性能的重要指標之一,直接影響到陀螺儀的使用效果和可靠性。MEMS陀螺儀的精度指標主要包括零偏…
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MEMS陀螺儀是一種用來測量角速度和角位移的MEMS傳感器,在消費電子、汽車電子、醫(yī)療電子、工業(yè)機器人等領(lǐng)域有著廣泛的應用。本期專業(yè)MEMS測試設備方案服務商SPEA為大家簡單介紹下MEMS陀螺儀的原理和分類。MEMS陀螺的基…
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MEMS陀螺儀是一種利用科里奧利力原理工作的微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器,它能夠測量和保持方向,廣泛應用于消費電子、汽車電子、醫(yī)療電子、工業(yè)機器人等領(lǐng)域。MEMS陀螺儀的核心是一個微加工機械單元,它通過振動或旋轉(zhuǎn)…
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