MEMS陀螺儀是一種用于測量和保持方向的儀器，在航空、航天、航海、地震學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。MEMS陀螺儀的精度是衡量其性能的重要指標(biāo)之一，直接影響到陀螺儀的使用效果和可靠性。

MEMS陀螺儀的精度指標(biāo)主要包括零偏、漂移、穩(wěn)定性和可重復(fù)性。其中，零偏是指陀螺儀在靜態(tài)狀態(tài)下輸出的非零信號，會導(dǎo)致陀螺儀的測量結(jié)果偏離真實值。漂移是指陀螺儀在運動狀態(tài)下輸出的非零值數(shù)，它會使陀螺儀的測量結(jié)果隨時間發(fā)生變化。穩(wěn)定性是指陀螺儀在長期使用過程中性能的穩(wěn)定性，它直接影響到陀螺儀的可靠性和使用壽命。重復(fù)性是指陀螺儀多次測量同一物理量時輸出結(jié)果的一致性，是評價陀螺儀測量精度的重要指標(biāo)之一。