MEMS陀螺儀是一種利用科里奧利力原理工作的微機電系統(tǒng)（MEMS）傳感器，它能夠測量和保持方向，廣泛應用于消費電子、汽車電子、醫(yī)療電子、工業(yè)機器人等領(lǐng)域。

MEMS陀螺儀的核心是一個微加工機械單元，它通過振動或旋轉(zhuǎn)來測量角速度。這種傳感器通常包含兩個方向的可移動電容板，一個振動質(zhì)量或轉(zhuǎn)子，以及傳感電路。當MEMS陀螺儀在外部加速度或科里奧利力的驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)時，這些電容板會產(chǎn)生電容變化，這些變化與角速度成正比，從而可以測量角速度。

MEMS陀螺儀的特點包括尺寸小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)，并且具有高頻特性好、能夠測量高速旋轉(zhuǎn)運動等優(yōu)點。然而，MEMS陀螺儀的精度受多種因素影響，包括零偏、漂移、穩(wěn)定性和可重復性等，這些因素需要通過高精度的電路和算法進行補償和校準。